氯化氫

    近幾年來(lái)，隨著我國(guó)超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場(chǎng)需求量明顯增長(zhǎng)，電子級(jí)氯化氫氣體的國(guó)產(chǎn)化已是大勢(shì)所趨。

    我國(guó)在國(guó)產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展：國(guó)產(chǎn)高純氨改變了國(guó)外氣體公司壟斷市場(chǎng)的格局，高純四氟化碳“有價(jià)無(wú)貨”時(shí)代也宣告結(jié)束，高純氯化氫已成功打開國(guó)內(nèi)市場(chǎng)。

    高純氨作為電子工業(yè)中氮化膜的成膜氣體，是化學(xué)氣相沉積（CVD）重要的“氮”源。光明化工研究設(shè)計(jì)院總工程師孫福楠介紹說(shuō)，2010年，國(guó)產(chǎn)高純氨在太陽(yáng)能領(lǐng)域發(fā)揮了巨大的作用。由于國(guó)產(chǎn)高純氨進(jìn)入市場(chǎng)，改變了國(guó)外氣體公司壟斷市場(chǎng)的局面。

    我公司的5.0N電子級(jí)(VLSI)氯化氫產(chǎn)品經(jīng)國(guó)內(nèi)外多家半導(dǎo)體重點(diǎn)企業(yè)連續(xù)大量在單晶硅片氣相拋光和外延基座腐蝕工藝中廣泛使用，制得的器件產(chǎn)品質(zhì)量與國(guó)際知名品牌相當(dāng)。