氯化氫

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高純氯化氫是集成電路生產(chǎn)中各項(xiàng)工藝的重要材料

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高純氯化氫是集成電路生產(chǎn)中各項(xiàng)工藝的重要材料

作者:山東言赫小編     發(fā)布時(shí)間:2015-07-13 09:49:09
    淄博言赫特種氣體公司主營“華宇同方”牌高純氯化氫,其產(chǎn)品性能優(yōu)越,質(zhì)量穩(wěn)定,價(jià)格合理。在氯化氫市場占據(jù)了一席之地,也受到了廣大客服的支持與認(rèn)可。
    高純氯化氫是集成電路生產(chǎn)中硅片蝕刻,鈍化和外延等工藝的重要材料,也可用于金屬冶煉,光導(dǎo)通訊和科學(xué)研究等領(lǐng)域。隨著大規(guī)模集成電路的發(fā)展,對氯化氫純度的要求越來越高,對其中雜質(zhì)的含量要求越來越苛刻,尤其要求嚴(yán)格限制碳?xì)浠衔锖吞佳趸衔锏暮?,以防止硅片加工過程中c的形成。國內(nèi)外對于制備高純氯化氫的方法有很多。今天跟大家簡單介紹一下其中的鹽酸脫析法的工藝流程:
    鹽酸脫析法。將濃鹽酸置于脫析塔中加熱脫析制氯化氫氣體。鹽酸脫吸法制高純氯化氫廣泛應(yīng)用于PVC、氯丁二烯和高純鹽酸等的生產(chǎn)中。此種方法生產(chǎn)的氯化氫氣體純度在99.9% (質(zhì)量分?jǐn)?shù))以上。
    其工藝流程為:將濃鹽酸貯槽之濃酸用濃酸泵打至脫吸塔,脫吸塔下部連接再沸器,濃酸自塔頂噴淋而下,與來自再沸器的稀酸蒸氣逆流傳質(zhì)傳熱,使氯化氫脫吸。所得之恒沸酸一部分補(bǔ)充再沸器的循環(huán),一部分則經(jīng)板式冷卻器后流入稀酸貯槽。由脫吸塔出來的含水蒸氣氯化氫氣體,進(jìn)人石墨列管冷卻器用水冷卻后經(jīng)過旋風(fēng)分離器,分離出夾帶酸霧。然后,經(jīng)過一系列的常溫、低溫干燥、吸附除水及二氧化碳,壓縮至1.2MPa,進(jìn)行低溫精餾,再經(jīng)低溫吸附除氮后壓縮至4.2MPa,裝瓶。
    我公司現(xiàn)有年產(chǎn)2000噸高純氯化氫生產(chǎn)線,連續(xù)批量生產(chǎn)應(yīng)用于單晶硅外延片制造的5N(99.999%)電子級(VLSI)氯化氫,以及應(yīng)用于醫(yī)藥中間體、農(nóng)藥及精細(xì)化學(xué)品制造的2.8N(99.8%)化學(xué)級氯化氫氣體。產(chǎn)品性能先進(jìn),質(zhì)量穩(wěn)定,處于國內(nèi)領(lǐng)先地位,達(dá)到國際先進(jìn)水平。